盛美上海等多家厂商迎打破 碳化硅设备国产化加快

  近来，盛美半导体设备（上海）股份有限公司运用微信大众号渠道宣告，其推出了新式化学机械研磨后（Post-CMP）整理洗刷设备。盛美上海指出，这是公司第一款Post-CMP整理洗刷设备，该设备可用来制作高质量衬底化学机械研磨（CMP）工艺之后的清洗，其间6英寸和8英寸的装备适用于碳化硅（SiC）衬造。当下，化合物半导体范畴正活跃扩产。受此影响，全球的半导体设备交期不断拉长，这也促进设备的供需联系愈加严重。北方华创近期在财报中表明，其碳化硅长晶设备订单丰满，估计本年出货将超500台。

  5G通讯、电动汽车、光伏等新鼓起的工业的开展对碳化硅的功能、产能提出了更高的要求，是碳化硅工业加快开展的重要推动力。其间，新能源电动车是碳化硅运用中最不行忽视的商场，也是碳化硅近年来最大的增加引擎。TrendForce集邦咨询指出，跟着渐渐的变多车企开端在电驱体系中导入SiC技能，预估2022年车用SiC功率元件商场规模将到达10.7亿美元，至2026年将攀升至39.4亿美元。

  相关公司中，天通股份（600330）子公司凯成半导体从事碳化硅晶体资料的出产研发，子公司天通吉成可出产碳化硅出产设备，孙公司天通日进出产后道研磨抛设备，相关设备优先配套企业内部运用；海特高新（002023）海威华芯有着非常丰富的化合物晶圆研发技能储备，包含砷化镓、氮化镓、碳化硅等，其间碳化硅是重要事务方向之一，未来商场开展的潜力宽广。